Определение параметров и локального распределения глубоких центров в полупроводниках методами релаксационной спектроскопии и катодолюминесценции

Определение кислорода и углерода в кремнии оптическим методом с пределами определения по кислороду > 1·1017 см–3 при допустимом электросопротивлении не менее 10-1 Ом·см для n-типа и 1 Ом·см для p-типа, по углероду > 2·1016 см–3 на спектрофотометре Перкин-Эльмер 983 и > 3·1015 см–3 на Фурье-спектрометре фирмы Брукер при допустимом электросопротивлении не менее 1 Ом·см для n- и p-типа. Определение локальной концентрации примесей и их пространственного распределения в неорганических материалах методом локального рентгеноспектрального анализа (локальность и латеральное разрешение до 1 мкм, предел обнаружения до 0.01%).