Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное, электронно-лучевое и импульсное лазерное напыление, атомно-слоевое осаждение)

14 сентября 2018
223
Виды услуг
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Регламент предоставления услуги
Оборудование, с использованием которого выполняется услуга
Ориентировочная стоимость договорная
Наличие аккредитации Нет
Наличие ГОСТированной методики Нет
Описание опыта выполнения аналогичных услуг

Описание

Плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков. Быстрая термическая обработка. Печать пассивных элементов микроэлектроники. Химико-механическая полировка. Прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин. Лазерная резка и гравировка. Ультразвуковая контактная сварка. Вакуумное сращивание кремниевых подложек.