Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное, электронно-лучевое и импульсное лазерное напыление, атомно-слоевое осаждение)
14 сентября 2018
539
| Виды услуг | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Оборудование, с использованием которого выполняется услуга | — |
| Ориентировочная стоимость | договорная |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
| Описание опыта выполнения аналогичных услуг | — |
Описание
Плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков. Быстрая термическая обработка. Печать пассивных элементов микроэлектроники. Химико-механическая полировка. Прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин. Лазерная резка и гравировка. Ультразвуковая контактная сварка. Вакуумное сращивание кремниевых подложек.