Вторичная ион-масс спектроскопия наногетероструктур

14 сентября 2018
180
Виды услуг
Страна, регион, город Российская Федерация, Санкт-Петербург
Регламент предоставления услуги
Оборудование, с использованием которого выполняется услуга
Ориентировочная стоимость договорная
Наличие аккредитации Нет
Наличие ГОСТированной методики Нет
Описание опыта выполнения аналогичных услуг

Описание

НТЦ микроэлектроники располагает современным оборудованием для выполнения работ по определению характеристик структур различных опто- и микроэлектронных приборов на основе микро- и наноразмерных многослойных гетероструктур методами динамической вторично-ионной масс-спектрометрии (вторично-ионный микрозонд IMS-4f фирмы САМЕСА, Франция) и оже-электронной и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (оже- и фотоэлектронный спектрометр Multitecnique PHI-5500 фирмы PHYSICAL ELECTRONICS, США). Наличие такого оборудования обеспечивает детальный контроль материалов при разработке эпитаксиальных технологий формирования приборов на основе наноразмерных гетероструктур. Кроме того, используемые НТЦ микроэлектроники РАН методики аттестованы Росстандартом Российской Федерации, например, методика получения информации о распределении по глубине GaN таких электрически активных примесей, как кремний и магний.