Программа расчета статических характеристик чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности

Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
146
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201561779
Дата регистрации документа ИС 2015-07-22
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для расчета перемещений чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности, изготовленного по технологии кремний-на-изоляторе, под действием линейного ускорения в плоскости подложки. Исходными данными являются диапазон линейных ускорений, собственные частоты колебаний чувствительного элемента, напряжения питания и т.п. Выходными данными являются амплитуды перемещений чувствительного элемента акселерометра по двум осям чувствительности, изменения емкостей преобразователей перемещений. Область применения - микросистемная техника, а именно, проектирование чувствительных элементов микромеханических акселерометров