Программа расчета собственных форм и собственных частот колебаний чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности
Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
213
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | программа для ЭВМ |
| Номер документа ИС | 201561779 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-07-22 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Программа предназначена для расчета собственных форм и собственных частот колебаний чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности, изготовленного по технологии кремний-на-изоляторе. Исходными данными являются геометрические размеры инерционной массы, подвижные и неподвижные электроды емкостных преобразователей перемещений, упругих балок, плотность и упругие свойства структурного материала. Выходными данными являются формы собственных колебаний и значения собственных частот колебаний чувствительного элемента акселерометра. Область применения - микросистемная техника, а именно, проектирование чувствительных элементов микромеханических акселерометров.