Программа расчета собственных форм и собственных частот колебаний чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности

Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
136
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201561779
Дата регистрации документа ИС 2015-07-22
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для расчета собственных форм и собственных частот колебаний чувствительного элемента микромеханического акселерометра с двумя осями чувствительности, изготовленного по технологии кремний-на-изоляторе. Исходными данными являются геометрические размеры инерционной массы, подвижные и неподвижные электроды емкостных преобразователей перемещений, упругих балок, плотность и упругие свойства структурного материала. Выходными данными являются формы собственных колебаний и значения собственных частот колебаний чувствительного элемента акселерометра. Область применения - микросистемная техника, а именно, проектирование чувствительных элементов микромеханических акселерометров.