Система моделирования эллипсометрических углов при отражении света от неоднородной рассеивающей поверхности (ЭЛЛС)

Программа предназначена для построения и оптимизации спектральной зависимости поляризационных углов в видимой области электромагнитных волн. Программа позволяет моделировать рассеивающие свойства распределений сфероидов и цилиндров на проводящей подложке, в том числе и с буферным слоем диэлектрика. При расчетах доступны нормальные распределения рассеивателей по размерам, ориентации и форме, с ручным заданием коэффициентов функции распределения. Результаты расчетов могут быть использованы для контроля технологических процессов получения наноструктур, а также при поиске геометрических и физико-химических свойств исследуемой поверхности.