Система моделирования эллипсометрических углов при отражении света от неоднородной рассеивающей поверхности (ЭЛЛС)

Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
140
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201461570
Дата регистрации документа ИС 2014-05-30
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для построения и оптимизации спектральной зависимости поляризационных углов в видимой области электромагнитных волн. Программа позволяет моделировать рассеивающие свойства распределений сфероидов и цилиндров на проводящей подложке, в том числе и с буферным слоем диэлектрика. При расчетах доступны нормальные распределения рассеивателей по размерам, ориентации и форме, с ручным заданием коэффициентов функции распределения. Результаты расчетов могут быть использованы для контроля технологических процессов получения наноструктур, а также при поиске геометрических и физико-химических свойств исследуемой поверхности.