Система анализа данных многоугловой спектральной эллипсометрии (MultiW)

Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
146
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201561661
Дата регистрации документа ИС 2015-06-16
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для расчёта спектральных зависимостей оптических постоянных и параметра толщины тонких плёнок путём решения обратной задачи эллипсометрии для случая многоугловых измерений спектральных зависимостей эллипсометрических углов. Программа использует ряд методов и оптических моделей, позволяющих провести расширенный анализ оптических свойств, качества интерфейса и шероховатости поверхности исследуемых объектов. Получаемые сведения могут быть использованы для отработки технологических процессов получения планарных наноструктур и характеризации их электронных свойств в соответствующем диапазоне энергий.