Метки совмещения на полупроводниковой подложке с обратным контрастом для электронной литографии
Грехов Максим Михайлович
14 сентября 2018
364
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 152525 |
| Дата регистрации документа ИС | 2014-11-27 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |