Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов

Грехов Максим Михайлович
14 сентября 2018
187
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 132256
Дата регистрации документа ИС 2013-04-04
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов, включающее рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления, отличающееся тем, что зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки.