Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов
Грехов Максим Михайлович
14 сентября 2018
187
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | полезная модель |
Номер документа ИС | 132256 |
Дата регистрации документа ИС | 2013-04-04 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов, включающее рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления, отличающееся тем, что зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки.