Высокочастотный реактор для синтеза слоев нитрида алюминия
Грехов Максим Михайлович
14 сентября 2018
202
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 131233 |
| Дата регистрации документа ИС | 2013-04-04 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Высокочастотный реактор для синтеза слоев нитрида алюминия, расположенный в вакуумной камере, содержащий корпус, высокочастотные электроды, один из которых представляет собой полый трубчатый электрод, стакан для создания области локализации ионизированной азотной плазмы, под которым установлена подложка с нагревателем, отличающийся тем, что полый трубчатый электрод снабжен радиальными отверстиями в зоне стакана для создания ламинарного потока газа в полости стакана и установлен по оси стакана, выполняющего функцию второго электрода и изготовленного из высокочистого алюминия.