Способ изготовления полимерного композита с ориентированным массивом углеродных нанотрубок регулируемой плотности

Изобретение относится к области нано- и микросистемной техники и полимерных нанокомпозитов и может быть использовано для создания элементов наноэлектроники с регулируемым сопротивлением, защитных и теплоотводящих пленочных покрытий. Способ изготовления пленки, состоящей из полимерной матрицы, армированной вертикально ориентированным массивом углеродных нанотрубок, выращенным на подложке, включает растворение полимера в растворителе до вязкости, позволяющей затекать раствору между нанотрубками, формирование на подложке слоя нанокомпозита центрифугированием из раствора полимера, при этом подложку располагают перпендикулярно плоскости вращения центрифуги, и термообработку при температуре, не выше температуры деструкции полимерной матрицы, при этом углеродные нанотрубки на подложке выращивают вертикально ее поверхности с регулированием плотности массива нанотрубок. Способ позволяет устранить слипаемость нанотрубок и повысить степень их ориентированности в объеме полимерной матрицы для создания резистивных элементов различного номинала, межсоединений и диэлектрических участков в одном технологическом цикле по технологии, совместимой с технологией микроэлектроники.