Программа численного моделирования стимулированных электрическим полем процессов диффузии легирующих примесей в полупроводниках

Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
379
Предметная область —
Отрасли по ОКВЭД —
Страна, регион, город Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону
Отличия от конкурентов —
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201561656
Дата регистрации документа ИС 2015-06-15
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения —
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Назначением разработанной программы является численное моделирование стимулированных электрическим полем процессов диффузии легирующих примесей в полупроводниках. Область применения программы - разработка технологических процессов изготовления интегральных полупроводниковых структур. Функциональные возможности программы: программа позволяет получить распределения концентраций легирующих примесей по координатам и времени, графики изменения во времени зонных диаграмм структур и напряженности электрического поля.