Автоматизированный комплекс для управления технологическими процессами получения тонких структур металла на полупроводнике, используя измерение и анализ магнитоэллипсометрических данных (Valnadin Auto)

Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
133
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201361781
Дата регистрации документа ИС 2013-08-23
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для измерения, построения и оптимизации поляризационных углов в видимой области спектра электромагнитных волн, в том числе для измерений магнитооптического эффекта Керра (петли намагниченности образца и спектральной зависимости магнитооптического эффекта). Программа позволяет оптимизировать выбранную оптическую модель структуры поверхности по имеющимся экспериментальным данным спектральной эллипсометрии и производить расчет оптических параметров растущей однородной пленки в режиме реального времени. Результаты расчетов используются для управления технологическими процессами получения полупроводниковых и металлических наноструктур с возможностью их дальнейшего анализа.