Автоматизированный комплекс для управления технологическими процессами получения тонких структур металла на полупроводнике, используя измерение и анализ магнитоэллипсометрических данных (Valnadin Auto)
Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
451
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | программа для ЭВМ |
| Номер документа ИС | 201361781 |
| Дата регистрации документа ИС | 2013-08-23 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Программа предназначена для измерения, построения и оптимизации поляризационных углов в видимой области спектра электромагнитных волн, в том числе для измерений магнитооптического эффекта Керра (петли намагниченности образца и спектральной зависимости магнитооптического эффекта). Программа позволяет оптимизировать выбранную оптическую модель структуры поверхности по имеющимся экспериментальным данным спектральной эллипсометрии и производить расчет оптических параметров растущей однородной пленки в режиме реального времени. Результаты расчетов используются для управления технологическими процессами получения полупроводниковых и металлических наноструктур с возможностью их дальнейшего анализа.