Программный пакет для расчета оптических свойств растущих структур в реальном времени по данным эллипсометрии (ElliD)
Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
243
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | программа для ЭВМ |
| Номер документа ИС | 201361878 |
| Дата регистрации документа ИС | 2013-09-18 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Программа предназначена для непрерывного чтения обновляемых данных одноволновой отражательной эллипсометрии и параллельного поиска оптических свойств формируемой поверхностной структуры численными методами, используя полученные данные эллипсометрии. Результатами расчета являются следующие параметры: толщина растущей структуры, ее коэффициенты преломления и поглощения, текущая скорость роста толщины структуры. При расчете используются модифицированные алгоритмы Ньютона. В программе используются встроенные библиотеки материалов, доступные для редактирования пользователем.