Программный пакет для расчета оптических свойств растущих структур в реальном времени по данным эллипсометрии (ElliD)

Овчинников Сергей Геннадьевич
14 сентября 2018
158
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201361878
Дата регистрации документа ИС 2013-09-18
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для непрерывного чтения обновляемых данных одноволновой отражательной эллипсометрии и параллельного поиска оптических свойств формируемой поверхностной структуры численными методами, используя полученные данные эллипсометрии. Результатами расчета являются следующие параметры: толщина растущей структуры, ее коэффициенты преломления и поглощения, текущая скорость роста толщины структуры. При расчете используются модифицированные алгоритмы Ньютона. В программе используются встроенные библиотеки материалов, доступные для редактирования пользователем.