Создание шаблонов для формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом ФИП
Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
181
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | программа для ЭВМ |
| Номер документа ИС | 201561051 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-01-13 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Программа предназначена для создания растровых шаблонов для формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом фокусированных ионных пучков (ФИП) без использования масочных структур с учетом модели распыления материала подложки фокусированным ионным пучком. Реализованная в программе модель учитывает основные эффекты и процессы, возникающие в процессе изготовления элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом фокусированных ионных пучков (ФИП). Реализация данной модели в рамках созданной программы позволяет формировать элементы методом ФИП с заданной геометрической точностью и достаточной воспроизводимостью технологических параметров