Микроболометр с упрочненными поддерживающими балками и способы его изготовления

14 сентября 2018
191
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2490751
Дата регистрации документа ИС 2013-08-20
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к технике машинного зрения и может быть использовано в фотоприемных устройствах инфракрасного диапазона. В микроболометре, выполненном в исходной структуре в виде поддерживаемого на термоизолирующих балках над вытравленной полостью термоизолированного участка активного слоя полупроводника, содержащего находящийся с ним в тепловом контакте поглощающий элемент, нагреваемый поглощаемым излучением, и температурочувствительный элемент электрической схемы, расположенной вне термоизолированного участка, соединенный с ней проводниками, проходящими по балкам, балки выполнены двухслойными со слоями, разделенными термоизолирующим зазором. Предложены способы изготовления микроболометра с упрочненными поддерживающими балками. Изобретение обеспечивает создание конструкции и технологии изготовления дешевого микроболометра с утоненными, но упрочненными поддерживающими балками.