Микроболометр с упрочненными поддерживающими балками и способы его изготовления
14 сентября 2018
232
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | изобретение |
Номер документа ИС | 2490751 |
Дата регистрации документа ИС | 2013-08-20 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Изобретение относится к технике машинного зрения и может быть использовано в фотоприемных устройствах инфракрасного диапазона. В микроболометре, выполненном в исходной структуре в виде поддерживаемого на термоизолирующих балках над вытравленной полостью термоизолированного участка активного слоя полупроводника, содержащего находящийся с ним в тепловом контакте поглощающий элемент, нагреваемый поглощаемым излучением, и температурочувствительный элемент электрической схемы, расположенной вне термоизолированного участка, соединенный с ней проводниками, проходящими по балкам, балки выполнены двухслойными со слоями, разделенными термоизолирующим зазором. Предложены способы изготовления микроболометра с упрочненными поддерживающими балками. Изобретение обеспечивает создание конструкции и технологии изготовления дешевого микроболометра с утоненными, но упрочненными поддерживающими балками.