Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр на основе углеродных нанотрубок

Вардуни Татьяна Викторовна
14 сентября 2018
208
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2455652
Дата регистрации документа ИС 2012-07-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Техническим результатом является возможность измерения величин угловой скорости и ускорения вдоль осей Х и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки. Технический результат достигается за счет введения слоя дополнительной инерционной массы, выполненного из полупроводникового материала и расположенного непосредственно на инерционной массе, дополнительной прямоугольной рамки, выполненной из полупроводникового материала и расположенной непосредственно на прямоугольной рамке, двух подвижных электродов, выполненных из полупроводникового материала в виде пластин с гребенчатыми структурами с одной стороны и расположенных с зазором относительно полупроводниковой подложки, дополнительного неподвижного электрода, выполненного из полупроводникового материала и расположенного непосредственно на подложке, четырех дополнительных упругих балок, расположенных с зазором относительно полупроводниковой подложки, шести элементов крепления, выполненных из полупроводникового материала, четыре из которых расположены непосредственно на опорах, а два других - на двух подвижных электродах, причем планарные неподвижные электроды образуют плоские конденсаторы в плоскости их пластин через боковые зазоры с прямоугольной рамкой, а упругие балки выполнены на основе углеродных нанотрубок.