Устройство для нанесения тонких пленок

14 сентября 2018
163
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 123778
Дата регистрации документа ИС 2013-01-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Устройство для нанесения тонких пленок, включающее вакуумную камеру, соединенную с системой напуска рабочего газа, расположенные в ней подложку, тело катода, мишень, магнитную систему магнетрона, находящуюся за мишенью и предназначенную для генерации магнитного поля, и дополнительные магниты, предназначенные для генерации внешнего магнитного поля, отличающееся тем, что мишень выполнена с размерами, сопоставимыми с размерами подложки, дополнительные магниты закреплены стационарно за подложкой со стороны, противоположной телу катода, а тело катода неподвижно закреплено на проставке из немагнитного материала.