| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 123778 |
| Дата регистрации документа ИС | 2013-01-10 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Устройство для нанесения тонких пленок, включающее вакуумную камеру, соединенную с системой напуска рабочего газа, расположенные в ней подложку, тело катода, мишень, магнитную систему магнетрона, находящуюся за мишенью и предназначенную для генерации магнитного поля, и дополнительные магниты, предназначенные для генерации внешнего магнитного поля, отличающееся тем, что мишень выполнена с размерами, сопоставимыми с размерами подложки, дополнительные магниты закреплены стационарно за подложкой со стороны, противоположной телу катода, а тело катода неподвижно закреплено на проставке из немагнитного материала.