Катод-мишень с внешним магнитным блоком
Сергей Владимирович Оболенский
14 сентября 2018
248
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 153424 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-07-20 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Полезная модель относится к распылительному вакуумному оборудованию и может быть использована в качестве высокотехнологичного в изготовлении и монтаже катода-мишени в магнетронах и установках для катодного осаждения.
Технический результат заявляемой полезной модели - упрощение конструкции катода-мишени с внешним магнитным блоком за счет исключения из последнего периферийного постоянного магнита и использования в нем периферийного замкнутого магнитопровода, а также повышение технологичности изготовления катода-мишени с внешним магнитным блоком в результате указанного исключения и универсализация его использования в качестве оптимальной базовой сборочной детали.
Для достижения указанного технического результата в катоде-мишени с внешним магнитным блоком, изготовленном из магнитного распыляемого материала в виде пластины и оснащенном размещенным на ее рабочей поверхности внешним магнитным блоком, выполненным на основе центрального постоянного магнита, внешний магнитный блок имеет периферийный замкнутый магнитопровод, расположенный вдоль края.пластины с ее рабочей стороны и образующий ее боковые стенки.
Технический результат заявляемой полезной модели - упрощение конструкции катода-мишени с внешним магнитным блоком за счет исключения из последнего периферийного постоянного магнита и использования в нем периферийного замкнутого магнитопровода, а также повышение технологичности изготовления катода-мишени с внешним магнитным блоком в результате указанного исключения и универсализация его использования в качестве оптимальной базовой сборочной детали.
Для достижения указанного технического результата в катоде-мишени с внешним магнитным блоком, изготовленном из магнитного распыляемого материала в виде пластины и оснащенном размещенным на ее рабочей поверхности внешним магнитным блоком, выполненным на основе центрального постоянного магнита, внешний магнитный блок имеет периферийный замкнутый магнитопровод, расположенный вдоль края.пластины с ее рабочей стороны и образующий ее боковые стенки.