Способ получения легированного алмаза
Прохоров Вячеслав Максимович
14 сентября 2018
228
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | изобретение |
Номер документа ИС | 2537491 |
Дата регистрации документа ИС | 2015-01-10 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Изобретение относится к технологическим процессам получения легированных алмазов, которые могут быть использованы в электронике и приборостроении, а также в качестве ювелирного камня. Легированный алмаз получают методом химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) на подложку в реакционной камере. Легирующий компонент берут в твердом состоянии и размещают в камере легирования, в которой выполнено не менее трех присоединительных фланцев, два из которых служат для присоединения камеры легирования к линии подачи рабочего газа, а третий - для прохождения лазерного излучения в импульсном режиме через прозрачное окно внутрь камеры легирования для распыления легирующего компонента, причем концентрацию легирующего компонента в алмазе регулируют путем варьирования параметров лазера: тока накачки лазерного диода, частоты лазерных импульсов, расстояния от фокуса лазерного излучения до поверхности легирующего компонента.