Технологическая головка для обработки поверхности лазерной плазмой с наложенным СВЧ полем

Полезная модель относится к устройствам для модификации поверхностей и приповерхностных слоев деталей, выполненных из металлов, сплавов, полупроводников, а также синтеза новых материалов, плазмохимической обработки и нанесения на поверхность тонких пленок и может найти применение в машиностроении, металлургии, полупроводниковой промышленности при изготовлении изделий с модифицированными слоями различного назначения. Предложено устройство для обработки поверхности лазерной плазмой с наложенным СВЧ полем, включающее корпус, который имеет нижнюю плоскость, располагаемую со щелью относительно обрабатываемой поверхности, при этом в корпусе имеется технологический канал для ввода лазерного излучения и рабочего газа, а также тороидальная полость, открытая в сторону нижней плоскости корпуса, при этом в тороидальной полости помещено средство ввода СВЧ мощности; также в корпусе выполнена дроссельная проточка в форме кольцеобразной выемки на расстоянии от края тороидальной полости.