Биполярный источник питания для магнетронной распылительной системы
Ратахин Николай Александрович
14 сентября 2018
272
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Томская область, Томск |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | полезная модель |
Номер документа ИС | 152232 |
Дата регистрации документа ИС | 2015-05-10 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Биполярный источник питания для магнетронного распыления, содержащий источник постоянного тока, расположенного на входе биполярного источника питания и блок формирования импульсов обратного (положительного) напряжения, расположенного на выходе биполярного источника питания, отрицательный и положительный выводы которого соединяются с нагрузкой, систему управления, соединенную со всеми блоками биполярного источника питания, отличающийся тем, что дополнительно включает в себя схему формирования отрицательных импульсов напряжения, входные выводы которой подключены к источнику постоянного тока, отрицательный выход подключен к блоку формирования импульсов обратного (положительного) напряжения, включающую в себя дроссель для ограничения скорости роста выходного тока, и схему рекуперации отрицательного тока, подключенную к положительному выходу схемы формирования отрицательных импульсов напряжения и положительному входу блока формирования импульсов обратного (положительного) напряжения.