Способ изготовления распыляемой мишени магнетронного источника для нанесения покрытия
Власов Антон Юрьевич
14 сентября 2018
252
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | изобретение |
| Номер документа ИС | 2567783 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-11-10 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Изобретение относится к нанесению покрытий вакуумным напылением. Способ изготовления распыляемой мишени магнетронного источника для нанесения покрытия включает выполнение углубления в металлической основе распылением материала металлической основы в магнетронном источнике и заполнение углубления материалом покрытия. Симметрично с двух сторон проводят механическую обработку выполненного в металлической основе углубления и обеспечивают увеличение его ширины на 28…30% путем снятия материала металлической основы по профилю углубления. Обеспечивается получение необходимого качества напыления особо чистых дорогостоящих материалов за счет устранения загрязнения химического состава наносимых покрытий материалом основы.