Способ изготовления распыляемой мишени магнетронного источника для нанесения покрытия

14 сентября 2018
204
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2567783
Дата регистрации документа ИС 2015-11-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к нанесению покрытий вакуумным напылением. Способ изготовления распыляемой мишени магнетронного источника для нанесения покрытия включает выполнение углубления в металлической основе распылением материала металлической основы в магнетронном источнике и заполнение углубления материалом покрытия. Симметрично с двух сторон проводят механическую обработку выполненного в металлической основе углубления и обеспечивают увеличение его ширины на 28…30% путем снятия материала металлической основы по профилю углубления. Обеспечивается получение необходимого качества напыления особо чистых дорогостоящих материалов за счет устранения загрязнения химического состава наносимых покрытий материалом основы.