Атомная литография наноструктур из различных материалов на заданном расстоянии друг от друга с нанометровой точностью

Полезная модель относится к прикладной науке и технике, и может быть использована для изготовления функциональных элементов в электронике, оптоэлектронике, нанофотонике, оптических устройствах, создания элементов памяти, создания элементов наноразмерных стандартов длины, зародышей для роста кристаллических наноструктур, гетероструктур, центров окраски и центров люминесценции. Атомно-ионная камера обскура состоит из пульта управления, атомной пушки, маски на микроподвижке, пленки с наноотверстием и подложки. За счет того, что маска установлена на микроподвижке, что открывает возможность создавать на подложке наноструктуры из различных материалов на контролируемом наноразмерном расстоянии друг от друга.