Энергонезависимый мэмс-коммутатор балочного типа

Полезная модель относится к области микроэлектроники и может быть использована для коммутирования электрических цепей при замыкании и размыкании контактной группы МЭМС-коммутаторов электростатическим способом в условиях повышенной радиации, например, в оборудовании атомных станций и космических аппаратов, а также в качестве элементов электромеханической памяти с подвижным механическим контактом. Задачей, на решение которой направлена настоящая полезная модель, являются обеспечение энергонезависимости, увеличение радиационной стойкости при высоком быстродействии. МЭМС-коммутатор содержит основание, деформируемую балку с электродом контактной группы, электростатический исполнительный механизм с электродами Балка сформирована двухопорной предварительно изогнутой. Одна или обе опоры деформируемой балки могут, имеет два или более механических соединений с основанием. Деформируемая балка может быть выполнена в виде многослойной структуры, включающей два или более электрода.