Тепловой микромеханический актюатор
Николай Алексеевич Дюжев
14 сентября 2018
229
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 168462 |
| Дата регистрации документа ИС | 2017-02-03 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Использование: для создания и изготовления микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы. Сущность полезной модели заключается в том, что тепловой микромеханический актюатор, содержащий кремниевую монокристаллическую пластину с ориентацией [100] с меза-структурой, состоящей из параллельных трапециевидных вставок, соединенных полипиромеллитимидными прослойками, нагревателя и металлизации нагревателя, с обратной стороны монокристаллической пластины сформированы V-образные канавки напротив параллельных трапециевидных вставок. Технический результат: обеспечение возможности расширения диапазона угла отклонения упругошарнирной консольной балки теплового микромеханического актюатора.