Адсорбционно-резистивный газовый сенсор
Лукичев Владимир Федорович
14 сентября 2018
304
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | полезная модель |
Номер документа ИС | 165023 |
Дата регистрации документа ИС | 2016-03-09 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Полезная модель относится к электронике, микроэлектронике, сенсорике и может найти широкое применение в системах мониторинга состава окружающей среды. Технической задачей полезной модели является расширение функциональных возможностей адсорбционно-резистивного газового сенсора на основе оксидов металлов, за счет увеличения количества селективно детектируемых газов. Решение поставленной задачи достигается тем, что адсорбционно-резистивный газовый сенсор, содержащий диэлектрическую подложку с двумя рабочими областями, которые отделены от диэлектрической подложки сквозной перфорацией и соединены с ней парой перемычек по углам одной из сторон, в первой и второй рабочих областях на одной из сторон диэлектрической подложки сформированы первый и второй нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов и, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от первого и второго нагревателей диэлектрической пленкой, на обратной стороне диэлектрической подложки в первой и второй рабочих областях сформированы третий и четвертый нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от третьего и четвертого нагревателей диэлектрической пленкой, на обеих поверхностях диэлектрической подложки также сформированы контактные площадки системы информационных электродов и нагревательных элементов, связанные токопроводящими дорожками с соответствующими элементами первой и второй рабочих областей, контактные площадки нагревательных элементов на обеих поверхностях диэлектрической подложки соединены параллельно через отверстия в диэлектрической подложке, причем диэлектрические пленки выполнены из того же материала, что и диэлектрическая подложка, а их толщины составляют от 80 до 100 нм.