Адсорбционно-резистивный газовый сенсор

Лукичев Владимир Федорович
14 сентября 2018
241
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 165023
Дата регистрации документа ИС 2016-03-09
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Полезная модель относится к электронике, микроэлектронике, сенсорике и может найти широкое применение в системах мониторинга состава окружающей среды. Технической задачей полезной модели является расширение функциональных возможностей адсорбционно-резистивного газового сенсора на основе оксидов металлов, за счет увеличения количества селективно детектируемых газов. Решение поставленной задачи достигается тем, что адсорбционно-резистивный газовый сенсор, содержащий диэлектрическую подложку с двумя рабочими областями, которые отделены от диэлектрической подложки сквозной перфорацией и соединены с ней парой перемычек по углам одной из сторон, в первой и второй рабочих областях на одной из сторон диэлектрической подложки сформированы первый и второй нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов и, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от первого и второго нагревателей диэлектрической пленкой, на обратной стороне диэлектрической подложки в первой и второй рабочих областях сформированы третий и четвертый нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от третьего и четвертого нагревателей диэлектрической пленкой, на обеих поверхностях диэлектрической подложки также сформированы контактные площадки системы информационных электродов и нагревательных элементов, связанные токопроводящими дорожками с соответствующими элементами первой и второй рабочих областей, контактные площадки нагревательных элементов на обеих поверхностях диэлектрической подложки соединены параллельно через отверстия в диэлектрической подложке, причем диэлектрические пленки выполнены из того же материала, что и диэлектрическая подложка, а их толщины составляют от 80 до 100 нм.