Вакуумная технологическая система для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий
Щетинин Валерий Петрович
14 сентября 2018
233
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 153695 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-07-27 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Полезная модель относится к вакуумным технологическим системам для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий, а более конкретно к системам для нанесения алмазо-подобных покрытий (АПП) на элементы германиевой оптики диаметром до 500 мм. Система состоит из вакуумной камеры, механизма ввода и вращения технологической оснастки, технологической оснастки, низкоэнергетического ионного источника, системы вращающихся масок (модулятора), привода модулятора, графитового катода, привода вращения графитового катода, вытягивающего соленоида, фильтра-ловушки «тяжелых» ионов, сепаратора, анодов, оптического ввода, отклоняющего соленоида, корпуса импульсно-дугового испарителя, импульсного YAG лазера, поворотно-фокусирующей системы, устройства шагового перемещения поворотно-фокусирующей системы, при этом, сепаратор представляет собой плазменный фильтр, поворачивающий плазменный поток на 30° и представляет собой систему внешнего отклоняющего и вытягивающего соленоидов постоянного тока.