Вакуумная технологическая система для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий

14 сентября 2018
172
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 153695
Дата регистрации документа ИС 2015-07-27
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Полезная модель относится к вакуумным технологическим системам для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий, а более конкретно к системам для нанесения алмазо-подобных покрытий (АПП) на элементы германиевой оптики диаметром до 500 мм. Система состоит из вакуумной камеры, механизма ввода и вращения технологической оснастки, технологической оснастки, низкоэнергетического ионного источника, системы вращающихся масок (модулятора), привода модулятора, графитового катода, привода вращения графитового катода, вытягивающего соленоида, фильтра-ловушки «тяжелых» ионов, сепаратора, анодов, оптического ввода, отклоняющего соленоида, корпуса импульсно-дугового испарителя, импульсного YAG лазера, поворотно-фокусирующей системы, устройства шагового перемещения поворотно-фокусирующей системы, при этом, сепаратор представляет собой плазменный фильтр, поворачивающий плазменный поток на 30° и представляет собой систему внешнего отклоняющего и вытягивающего соленоидов постоянного тока.