Способ получения фуллеренсодержащей пленки на подложке

Чимитдоржиев Тумэн Намжилович
14 сентября 2018
155
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Бурятия, Улан-Удэ
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2532742
Дата регистрации документа ИС 2014-11-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к получению фуллеренсодержащей пленки на подложке и может быть использовано в микро- и наноэлектронике. Сформированный в виде кольца трубчатый пучок электронов проецируют на мишень, выполненную в виде таблетки из порошка фуллереновой смеси, с её коаксиальным охватом. Осуществляют вакуумное испарение таблетки при температуре, превышающей 1,7·103 К, со сведением кольцевой проекции пучка электронов за время 0,1-1 с в пятно в центр таблетки и конденсацию паров фуллеренов на подложке. Обеспечивается предельно высокое значение коэффициента использования испаряемого материала, а также обеспечивается возможность нанесения покрытий на большие площади.