Способ получения наноразмерных структур кремния
Сапрыкин Анатолий Ильич
14 сентября 2018
492
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | изобретение |
| Номер документа ИС | 2547016 |
| Дата регистрации документа ИС | 2015-04-10 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Изобретение относится к технологии получения чистого наноструктурированного кремния и может быть использовано в разных областях полупроводниковой техники. Наноразмерные структуры кремния получают термическим разложением моносилана, которое проводят адиабатическим сжатием смеси 10 об.% моносилана в аргоне при начальном давлении 0,095 МПа и температуре 130°С. Изобретение позволяет получать наночастицы кремния солнечного качества размерами от 30 до 100 нм в аморфной и кристаллической форме.