Способ получения наноразмерных структур кремния

14 сентября 2018
142
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2547016
Дата регистрации документа ИС 2015-04-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к технологии получения чистого наноструктурированного кремния и может быть использовано в разных областях полупроводниковой техники. Наноразмерные структуры кремния получают термическим разложением моносилана, которое проводят адиабатическим сжатием смеси 10 об.% моносилана в аргоне при начальном давлении 0,095 МПа и температуре 130°С. Изобретение позволяет получать наночастицы кремния солнечного качества размерами от 30 до 100 нм в аморфной и кристаллической форме.