Чувствительный элемент оптического датчика

Изобретение относится к датчикам оптического излучения. Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектромеханических системах для детектирования оптического излучения. В настоящее время известно техническое решение «Optical sensor including photoconductive material and carbon nanotube» по патенту США на изобретение №7750285 (В2) (МПК H01L 27/30; H01L 31/0203; H01L 31/0232; H01L 31/0248; H01L 31/08; H01L 31/09; H01L 31/112; H01L 31/113; H01L 51/00; H01L 51/30 опубликован 06.07.2010 г.). В изобретении описан чувствительный элемент оптического датчика, детектирующий оптическое излучение посредством изменения электрической проводимости углеродной нанотрубки (УНТ) в результате генерации носителей заряда в фоточувствительном материале. Чувствительный элемент оптического датчика содержит подложку из фоточувствительного материала с сформированным на ее поверхности диэлектрическим слоем и расположенной на его поверхности углеродной нанотрубкой, на концах которой сформированы электрические контакты. Недостатком данного технического решения являются неэффективное использование рабочей области чувствительного элемента оптического датчика из-за использования отдельных углеродных нанотрубок; сложность изготовления чувствительных элементов оптического датчика на базе микроэлектронного производства из-за использования отдельных углеродных нанотрубок при изготовлении чувствительного элемента оптического датчика.