Субмикронный источник ультрафиолетового излучения

Субмикронный источник ультрафиолетового излучения, состоящий из сапфировой подложки, отличающийся тем, что на ней последовательно расположены фотонный кристалл и металлическая пленка с сужающимся нановолноводом. Отличающийся тем, что фотонный кристалл изготовлен из чередующихся слоев TiO2 и MgF2 в общем количестве от 2 и до 18. металлическая пленка изготовлена из золота или серебра и имеет толщину от 200 нм до 10 мкм. Сужающийся нановолновод имеет диаметры входного отверстия в диапазоне от 1 мкм до 10 мкм и выходного отверстия в диапазоне от 10 нм до 50 нм.