Субмикронный источник ультрафиолетового излучения

14 сентября 2018
79
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 157587
Дата регистрации документа ИС 2015-12-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Субмикронный источник ультрафиолетового излучения, состоящий из сапфировой подложки, отличающийся тем, что на ней последовательно расположены фотонный кристалл и металлическая пленка с сужающимся нановолноводом. Отличающийся тем, что фотонный кристалл изготовлен из чередующихся слоев TiO2 и MgF2 в общем количестве от 2 и до 18. металлическая пленка изготовлена из золота или серебра и имеет толщину от 200 нм до 10 мкм. Сужающийся нановолновод имеет диаметры входного отверстия в диапазоне от 1 мкм до 10 мкм и выходного отверстия в диапазоне от 10 нм до 50 нм.