Способ обработки сигналов в сканирующих устройствах

14 сентября 2018
58
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2510062
Дата регистрации документа ИС 2014-03-20
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Изобретение относится к области обработки сигналов в сканирующих устройствах, в частности оно касается способов обработки сигналов в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) и ему подобных устройствах с целью определения параметров пучка и коррекции этих параметров. Техническим результатом является уменьшение времени, необходимого для выполнения вспомогательных процедур установки заданных параметров пучка. Результат достигается тем, что сканируют электронным пучком поверхность объекта поперек топологического элемента, находящегося на этой поверхности, с одновременным изменением для каждой линии сканирования значения регулируемого параметра, получают вторично-эмиссионный сигнал, преобразуют этот сигнал в цифровую форму, запоминают и анализируют значения этого сигнала для определения лучших условий фокусировки, отличающийся тем, что для каждой сигналограммы определяют значение контраста сигнала, анализируют зависимость этого контраста от регулируемого параметра, по этой зависимости определяют однозначное соответствие между регулируемым параметром и положением точки фокусировки относительно объекта и выставляют эту точку в требуемое положение.