Топология тестового кристалла с элементами энергонезависимой многократно программируемой резистивной памяти

Сергей Владимирович Оболенский
14 сентября 2018
74
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС топология интегральных микросхем
Номер документа ИС 201763002
Дата регистрации документа ИС 2017-01-23
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Тестовый кристалл (ТК) предназначен для макетирования научно-технологических решений по изготовлению элементов энергонезависимой многократно программируемой резистивной памяти (ЭЭМПРП). ТК содержит тестовые структуры для контроля параметров используемых слоев и контактов, а также элементы памяти различной площади (от 5x5 мкм2 до 100x100 мкм2 ), в том числе объединенные в 8-битное слово или соединенные последовательно. ЭЭМПРП формируются на пластинах кремния с окислом путем нанесения методом магнетронного распыления нижних электродов, слоя рабочего оксида, верхнего электрода, защитного слоя SiO2, вакуумного напыления подводящей металлизации, формирования токоведущих элементов и защитного полимерного слоя с применением фотолитографии. Площадь ТК составляет 10x10 мм2 и обеспечивает его монтаж в металлокерамический корпус марки 5134.64-6.