Способ изготовления амплитудных дифракционных оптических элементов и масок для изготовления фазовых структур

Сойфер Виктор Александрович
14 сентября 2018
88
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Самарская область, Самара
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС изобретение
Номер документа ИС 2556313
Дата регистрации документа ИС 2015-07-10
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Способ относится к оптическому приборостроению и касается способа изготовления дифракционных оптических элементов и масок для изготовления фазовых структур. Способ включает нанесение молибденовой пленки толщиной 35-45 нм на поверхность диэлектрической подложки с последующим воздействием на нее сфокусированным лазерным излучением. Плотность мощности лазерного излучения составляет (0,8-1,2)·107 Вт/см2, что обеспечивает полное удаление (абляцию) металлической пленки в зоне воздействия. Технический результат заключается в сокращении количества технологических операций и уменьшении длительности технологического цикла.