Устройство для атомно-слоевого осаждения

14 сентября 2018
remove_red_eye12
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Документ об охране прав на интеллектуальную собственность Нет
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 172394
Дата регистрации документа ИС 2017-07-06
Необходимые инвестиции для внедрения
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для предприятия

Использование: для наращивания тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения. Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для атомно-слоевого осаждения содержит реакционные камеры в количестве 4 штук на 4 пластины диаметром до 200 мм, вакуумированный корпус и подъемно-поворотную крышку реакционных камер с поворотом 45°, нагреватель и систему подготовки газов, где крышка камер имеет механизм подъема и уплотнения относительно пьедестала для размещения пластин, механизм поворота крышки имеет систему периодического включения, а система подготовки газов выполнена с раздельной подачей реагентов в трубопроводах для препятствия их смешивания. Технический результат: обеспечение возможности повышения производительности.