Устройство для атомно-слоевого осаждения
Николай Алексеевич Дюжев
14 сентября 2018
497
| Предметная область | — |
| Отрасли по ОКВЭД | — |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Отличия от конкурентов | — |
| Вид документа об охране ИС | полезная модель |
| Номер документа ИС | 172394 |
| Дата регистрации документа ИС | 2017-07-06 |
| Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
| Сроки внедрения | — |
| Стоимость предоставления технологии | договорная |
| Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Использование: для наращивания тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения. Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для атомно-слоевого осаждения содержит реакционные камеры в количестве 4 штук на 4 пластины диаметром до 200 мм, вакуумированный корпус и подъемно-поворотную крышку реакционных камер с поворотом 45°, нагреватель и систему подготовки газов, где крышка камер имеет механизм подъема и уплотнения относительно пьедестала для размещения пластин, механизм поворота крышки имеет систему периодического включения, а система подготовки газов выполнена с раздельной подачей реагентов в трубопроводах для препятствия их смешивания. Технический результат: обеспечение возможности повышения производительности.