Сканирующий зондовый микроскоп для оптической спектрометрии. (НТ-МДТ, NT-MDT)

Изобретение предназначено для оптической микроскопии и спектрометрии комбинационного рассеяния, люминесценции или флуоресценции с использованием зондового датчика в качестве оптической антенны. Микроскоп содержит основание 1, измерительную головку 2, зондовый датчик 3, держатель зондового датчика 4, сканирующее основание 5 с держателем образца 6, первый объектив 7 и первую систему визуализации 9, оптически сопряженную с первым объективом 7 и образцом 10. Также в микроскоп введены первая система ввода/вывода излучения 8, расположенная со стороны измерительной головки 2 относительно основания прибора 1, конфокальный микроскоп 11, оптически сопряженный с, по меньшей мере, одним источником излучения 12 и с первой системой ввода/вывода излучения 8, спектрометр 13, содержащий, по меньшей мере, один детектор 14 и оптически сопряженный с первой системой ввода/вывода излучения 8. Зондовый датчик 3 оптически открыт для доступа источника излучения 12, оптически сопряжен посредством первого объектива 7 с первой системой ввода/вывода излучения 8 и содержит оптически активную зону 15. Технический результат – повышение универсальности конструкции, усиление флуоресценции, комбинационного рассеяния, повышение пространственного разрешения оптической спектроскопии. 22 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение предназначено для измерения рельефа, линейных размеров, физических характеристик поверхности, с одновременным измерением оптических спектров флуоресценции, комбинационного рассеяния и люминесценции, в том числе и усиленных зондом, и может быть использовано преимущественно в материаловедении, микро- и наноэлектронике, биологии. #NT-MDT, #НТ-МДТ.