Устройство углового сканирования. (НТ-МДТ, NT-MDT).

Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для углового перемещения отражающего элемента. Сущность изобретения заключается в том, что устройство углового сканирования содержит корпус 1, на котором закреплен пьезоэлектрический элемент 3 посредством первого конца 4 пьезоэлектрического элемента 3, на втором конце 5 пьезоэлектрического элемента 3 закреплен передаточный блок 6, на котором установлен отражающий элемент 20. Пьезоэлектрический элемент 3 выполнен в виде пьезотрубки. Передаточный блок 6 также включает переходник 8, закрепленный первым концом 9 на втором конце 5 пьезоэлектрического элемента 3, при этом на втором конце 10 переходника установлен первый мембранный элемент 11, три опоры 15, закрепленные в корпусе 1 и соединенные со вторым мембранным элементом 16, и рычаг 18, сопряженный с первым мембранным элементом 11 и вторым мембранным элементом 16, на котором установлен отражающий элемент 20. Технический результат изобретения заключается в повышении функциональных возможностей устройства и его точности. 11 з.п. ф-лы, 2 ил.
Устройство углового сканирования относится к точной механике и может быть использовано для углового перемещения отражающего элемента. #сканирующий зондовый микроскоп, #атомно-силовой микроскоп