Устройство импульсного лазерного осаждения наноструктурированных материалов

14 сентября 2018
427
Предметная область —
Отрасли по ОКВЭД —
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов —
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 135638
Дата регистрации документа ИС 2013-12-20
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения —
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Устройство для импульсного лазерного осаждения, включающее импульсно-периодический лазер, поворотное зеркало, собирающую линзу (объектив), вакуумную камеру с входными оптическими окнами, в одно из которых заводится лазерное излучение, мишень, механизм смены мишеней, располагающуюся напротив мишени подложку, механизм смены и нагрева подложек, отличающееся тем, что между подложкой и мишенью в непосредственной близости от подложки располагается плоский экран, край которого перемещается над поверхностью подложки заданным образом для получения плоской или клиновидной или более сложной поверхности пленок и многослойных структур.