Установка для очистки микро- и наносистем

14 сентября 2018
133
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС полезная модель
Номер документа ИС 135544
Дата регистрации документа ИС 2013-12-20
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Полезная модель относится к лабораторной технике и промышленным технологиям и может быть использована для очистки микро - и наносистем, в том числе микромеханических систем, например, кантилеверов для сканирующей зондовой микроскопии. Установка для очистки микро - и наносистем состоит из пульта управления, реактора с дроссельным клапаном, держателем, регулятором температуры и датчиком давления, баллона с углекислым газом, соединенным через компрессор с реактором. За счет предложенной конструкции очистка поверхности кантилеверов происходит в среде сверхкритического углекислого газа, что делает очистку эффективной и деликатной, без разрушающего воздействия. Предлагается также вариант установки, в которую добавлен генератор озона, что приводит к значительному усилению эффективности очистки поверхности микро - и наносистем.