Установка для очистки микро- и наносистем

Полезная модель относится к лабораторной технике и промышленным технологиям и может быть использована для очистки микро - и наносистем, в том числе микромеханических систем, например, кантилеверов для сканирующей зондовой микроскопии. Установка для очистки микро - и наносистем состоит из пульта управления, реактора с дроссельным клапаном, держателем, регулятором температуры и датчиком давления, баллона с углекислым газом, соединенным через компрессор с реактором. За счет предложенной конструкции очистка поверхности кантилеверов происходит в среде сверхкритического углекислого газа, что делает очистку эффективной и деликатной, без разрушающего воздействия. Предлагается также вариант установки, в которую добавлен генератор озона, что приводит к значительному усилению эффективности очистки поверхности микро - и наносистем.