Программа управления установкой зеркальной спектроскопической рефлектометрии

Программа предназначена для управления аппаратно-программным комплексом для сканирования глубины рельефа бинарных фазовых дифракционных структур, толщины слоя фоторезиста и составления карты этих параметров по площади элемента, а также для определения коэффициента пропускания дифракционных аттенюаторов. Область применения относится к области оптического приборостроения. Программа позволяет собирать данные о спектре излучения и производить их математическую обработку для определения глубины бинарного фазового дифракционного рельефа или толщины тонкой пленки материала с известным коэффициентом преломления, производить сканирование выбранного параметра по площади измеряемого элемента, составлять карту значений этого параметра, измерять спектр пропускания дифракционного аттенюатора и строить график пропускания по окружности на выбранной длине волны.