Программа управления установкой зеркальной спектроскопической рефлектометрии

14 сентября 2018
176
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201761377
Дата регистрации документа ИС 2017-03-29
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для управления аппаратно-программным комплексом для сканирования глубины рельефа бинарных фазовых дифракционных структур, толщины слоя фоторезиста и составления карты этих параметров по площади элемента, а также для определения коэффициента пропускания дифракционных аттенюаторов. Область применения относится к области оптического приборостроения. Программа позволяет собирать данные о спектре излучения и производить их математическую обработку для определения глубины бинарного фазового дифракционного рельефа или толщины тонкой пленки материала с известным коэффициентом преломления, производить сканирование выбранного параметра по площади измеряемого элемента, составлять карту значений этого параметра, измерять спектр пропускания дифракционного аттенюатора и строить график пропускания по окружности на выбранной длине волны.