Способ бесконтактного определения времени жизни неравновесных носителей заряда в полупроводниках
Трушко Ольга Владимировна
22 октября 2021
304
Предметная область | |
Отрасли по ОКВЭД | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | изобретение |
Номер документа ИС | 2450387 |
Дата регистрации документа ИС | 2012-05-10 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для бесконтактного определения времени жизни неравновесных носителей заряда в тонких полупроводниковых пластинках. В способе используется дифференциальная оптическая схема, при помощи которой луч зондирующего лазера сначала разделяется на два луча, один из которых проходит через образец в той точке, где проводятся измерения, а другой в точке, расположенной на расстоянии, много большем диффузионной длины носителей заряда от нее. После этого оба луча собираются в одну точку, в которой расположен фотоприемник. Вследствие изменения показателя преломления в окрестности точки образца, в которой проводятся измерения, между этими лучами изменяется разность хода. Благодаря интерференции интенсивность излучения, попавшего на фотоприемник, изменяется. Рассчитав изменение показателя преломления по изменению интенсивности падающего на фотоприемник излучения и зная параметры коротковолнового инжектирующего излучения, расчетным путем определяют время жизни носителей заряда. Применение такой схемы позволяет увеличить чувствительность метода примерно в пять раз.