Программа для управления кольцевым планарным магнетроном

14 сентября 2018
628
Предметная область —
Отрасли по ОКВЭД —
Страна, регион, город Российская Федерация
Отличия от конкурентов —
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201761653
Дата регистрации документа ИС 2017-06-08
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения —
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для научных исследований и может применяться при управлении установкой для нанесения тонкопленочных покрытий вакуумным испарением с использованием магнетрона. К основным функциональным возможностям программы относятся: управление вакуумным насосом; управление электродвигателями циркуляционных насосов первого и второго контуров охлаждения мишени-катода; измерение и индикация текущей температуры мишени-катода. Программа полезна при проведении управляемых экспериментов по изучению параметров технологического процесса ионного распыления, а также может применяться в обучении, например, при освоении методов низкоуровневого программирования на языке ассемблера AVR-микроконтроллеров в рамках изучения дисциплины «Микропроцессорные системы».