Программа для управления кольцевым планарным магнетроном

14 сентября 2018
230
Предметная область
Отрасли по ОКВЭД
Страна, регион, город Российская Федерация
Отличия от конкурентов
Вид документа об охране ИС программа для ЭВМ
Номер документа ИС 201761653
Дата регистрации документа ИС 2017-06-08
Необходимые инвестиции для внедрения договорная
Сроки внедрения
Стоимость предоставления технологии договорная
Наличие экспертного заключения Нет

Польза для потенциального потребителя

Программа предназначена для научных исследований и может применяться при управлении установкой для нанесения тонкопленочных покрытий вакуумным испарением с использованием магнетрона. К основным функциональным возможностям программы относятся: управление вакуумным насосом; управление электродвигателями циркуляционных насосов первого и второго контуров охлаждения мишени-катода; измерение и индикация текущей температуры мишени-катода. Программа полезна при проведении управляемых экспериментов по изучению параметров технологического процесса ионного распыления, а также может применяться в обучении, например, при освоении методов низкоуровневого программирования на языке ассемблера AVR-микроконтроллеров в рамках изучения дисциплины «Микропроцессорные системы».