Программа для управления кольцевым планарным магнетроном
14 сентября 2018
354
Предметная область | — |
Отрасли по ОКВЭД | — |
Страна, регион, город | Российская Федерация |
Отличия от конкурентов | — |
Вид документа об охране ИС | программа для ЭВМ |
Номер документа ИС | 201761653 |
Дата регистрации документа ИС | 2017-06-08 |
Необходимые инвестиции для внедрения | договорная |
Сроки внедрения | — |
Стоимость предоставления технологии | договорная |
Наличие экспертного заключения | Нет |
Польза для потенциального потребителя
Программа предназначена для научных исследований и может применяться при управлении установкой для нанесения тонкопленочных покрытий вакуумным испарением с использованием магнетрона. К основным функциональным возможностям программы относятся: управление вакуумным насосом; управление электродвигателями циркуляционных насосов первого и второго контуров охлаждения мишени-катода; измерение и индикация текущей температуры мишени-катода. Программа полезна при проведении управляемых экспериментов по изучению параметров технологического процесса ионного распыления, а также может применяться в обучении, например, при освоении методов низкоуровневого программирования на языке ассемблера AVR-микроконтроллеров в рамках изучения дисциплины «Микропроцессорные системы».