Установка ионно-плазменного травления "Каролина 15" (Эстовакуум)
14 сентября 2018
432
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
Страна производства | РФ |
Год производства | 2008 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Микропрофилирования кремний содержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, монокристаллический кремний), слоев сложных полупроводников (арсенида и нитрида галлия), а также пленок алюминия, меди, титана, нитрида титана, золота, серебра и платины