Вакуумная магнетронная напылительная система VSM-100
14 сентября 2018
545
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Пермский край, Пермь |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Вакуумная магнетронная напылительная установка VSM-100 использует плазменный разряд постоянного тока для магнетронного напыления тонких плёнок металлов (в частности: Ti, Cr, Au, Mo). В процессе напыления в системе работает один магнетрон или два магнетрона, возможно переключение магнетронов в процессе напыления с целью последовательного напыления 3-х металлов.