Установка вакуумного напыления 01МЭ – 7 – 004 «Оратория 9»
14 сентября 2018
710
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Воронежская область, Воронеж |
Страна производства | РФ |
Год производства | 1995 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для вакуумного нанесения пленок различных материалов (включая тугоплавкие) методом электронно-лучевого испарения из водоохлождаемых тиглей. Установка обеспечивает работу одно-го или двух испарителей в автоматическом режиме, что позволяет создавать модулированные структуры заданной толщины. Планетарный механизм вращения подложек и геометрия расположения тиглей позволяет получать пленочные структуры с высокой равно-мерностью по толщине.
Предельное остаточное давление в рабочей камере 6, 65х10-5Па.
Предельное остаточное давление в рабочей камере 6, 65х10-5Па.