Высоковакуумная установка молекулярно-пучковой эпитаксии SiGe гетероструктур SIVA-21
14 сентября 2018
894
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | Франция |
| Год производства | 2007 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 1 500 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | Хоздоговор |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Высоковакуумная установка молекулярно-пучковой эпитаксии SIVA-21 предназначена для получения гетероструктур на основе кремния и германия на подложках диаметром до 100 мм. Установка оборудована специализированными источниками для испарения кремния и германия, а также для испарения акцепторной (бор) и донорной (сурьма) примесей. Наличие в установке компьютерного контроля толщиной и составом осаждаемых слоев позволяет получать сложные, многослойные SiGe нанооструктуры с заданным профилем распределения состава и легирующих примесей.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Установка быстрых термических процессов AS-Micro (ANNEALSYS) | Франция | Продажа | Москва |
| Установка с центробежным вентилятором и шкафом управления, УВЭ | РФ | Аренда, Заказ исследования | Кострома |
| Установка спекания керамических материалов НТ-64 (Nabertherm) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Пермь |
| Компактная установка быстрых термических процессов с холодными стенками AS-Premium (ANNEALSYS) | Франция | Продажа | Москва |
| Установка высокотемпературной обработки волокон | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Вакуумная установка 12-D-4 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка вакуумной заливки пеком контейнеров | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка вакуумная электронно-лучевая | РФ | Аренда, Заказ исследования | Белгород |
| Установка Вакуумная УВН-Р | РФ | Аренда, Заказ исследования | Омск |
| Установка для изотермической вакуумной формовки и отжига "Ферри Ватт" | РФ | Аренда, Заказ исследования | Уфа |