Установка вакуумного ионно-лучевого осаждения тонких металлических и диэлектрических пленок CCR Copra Cube ISSA
14 сентября 2018
623
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Краснодарский край, Краснодар |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2007 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Получение тонкопленочных однослойных и многослойных покрытий металлов и их неорганических соединений на различных типах подложек (в том числе и полимерных) методом ионо-лучевого вакуумного напыления.
Технические характеристики:
1) осаждение слоев с минимальной толщиной слоя 0,8-1 нм на подложки диаметром до 10 см;
2) осаждение металлических, диэлектрических и полупроводниковых материалов с сохранением стехиометрии мишени;
3) проведение химического осаждения из газовой фазы (CVD)
Технические характеристики:
1) осаждение слоев с минимальной толщиной слоя 0,8-1 нм на подложки диаметром до 10 см;
2) осаждение металлических, диэлектрических и полупроводниковых материалов с сохранением стехиометрии мишени;
3) проведение химического осаждения из газовой фазы (CVD)