Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S (Modular Process Technology Corp.)
14 сентября 2018
963
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2009 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 1 037 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Быстрый термический отжиг, высокотемпературный постимплантационный отжиг, отжиг металлических контактов и пленок, получение оксидных пленок.
Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.
Точность поддержания температуры ± 2°С.
Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.
Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.
Точность поддержания температуры ± 2°С.
Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Установка быстрых термических процессов AS-Micro (ANNEALSYS) | Франция | Продажа | Москва |
| Установка с центробежным вентилятором и шкафом управления, УВЭ | РФ | Аренда, Заказ исследования | Кострома |
| Установка спекания керамических материалов НТ-64 (Nabertherm) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Пермь |
| Компактная установка быстрых термических процессов с холодными стенками AS-Premium (ANNEALSYS) | Франция | Продажа | Москва |
| Установка высокотемпературной обработки волокон | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Вакуумная установка 12-D-4 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка вакуумной заливки пеком контейнеров | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Высоковакуумная установка молекулярно-пучковой эпитаксии SiGe гетероструктур SIVA-21 | Франция | Аренда, Заказ исследования | Нижний Новгород |
| Установка вакуумная электронно-лучевая | РФ | Аренда, Заказ исследования | Белгород |
| Установка Вакуумная УВН-Р | РФ | Аренда, Заказ исследования | Омск |