Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S (Modular Process Technology Corp.)
14 сентября 2018
598
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | США |
Год производства | 2009 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | от 1 037 руб. |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Быстрый термический отжиг, высокотемпературный постимплантационный отжиг, отжиг металлических контактов и пленок, получение оксидных пленок.
Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.
Точность поддержания температуры ± 2°С.
Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.
Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.
Точность поддержания температуры ± 2°С.
Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.