Установка реактивно-ионного травления Plasmalab 80 plus RIE (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
380
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Свердловская область, Екатеринбург |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2008 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Плазменное реактивно-ионное травление металлов, а также крамния и его соединений с реакционными газами